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硅片HMDS涂布機臺，4寸Wafer hmds烤箱是將 HMDS 涂到硅片表面后，經(jīng)烘箱加溫可反應(yīng)生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷?其疏水基可很好地與光刻膠結(jié)合，起著偶聯(lián)劑的作用。

HMDS pretreatment system, HMDS oven reducing the contact angle of the silicon wafer after HMDS treatment The amount of photoresist to improve the adhesion of photoresist and silicon.

silicon wafer HMDS烤箱，HMDS OVEN1、預(yù)處理性能更好 2、處理更加均勻 3、效率高 4、更加節(jié)省藥液 5、更加環(huán)保和安全 6、低液報警裝置 7、可自動吸取HMDS功能 8、可自動添加HMDS功能 9、HMDS藥液泄漏報警功能 10、HMDS緊急疏散功能 11、數(shù)據(jù)記錄打印功能

HMDS鍍膜烤箱，HMDS真空鍍膜系統(tǒng)預(yù)處理性能更好，更加均勻；效率高,一次可以處理多達4盒的晶片；更加節(jié)省藥液；低液報警、防藥液泄漏等具有很強的安全保護功能；，有可自動吸取添加HMDS功能，智能型的程式設(shè)定，一鍵完成作業(yè)。