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實驗室HMDS專用烘箱  小型HMDS處理烤箱
實驗室HMDS專用烘箱 小型HMDS處理烤箱

實驗室HMDS專用烘箱 小型HMDS處理烤箱解決光刻膠附著力不足問題,同時增強光刻圖形的完整性.

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可程式HMDS真空 烘箱  HMDS真 空烘箱
可程式HMDS真空 烘箱 HMDS真 空烘箱

可程式HMDS真空 烘箱 HMDS真 空烘箱 用于光刻膠粘合的 HMDS 氣相沉積 晶圓基底脫水烘烤

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掩膜版HMDS真空烘箱    hmds烤箱
掩膜版HMDS真空烘箱 hmds烤箱

掩膜版HMDS真空烘箱 hmds烤箱使基底表面由親水性變為疏水性,增強表面的黏附性(HMDS-六甲基二硅胺烷)。適用于硅片、麟化銦、砷化鎵、陶瓷、不銹鋼、鈮酸鋰、玻璃、藍寶石、晶圓等材料。

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桌上型HMDS烘箱,小型HMDS真空烤箱 工業烘箱
桌上型HMDS烘箱,小型HMDS真空烤箱 工業烘箱

桌上型HMDS烘箱,小型HMDS真空烤箱采用HMDS涂布方法改變晶圓表面的親水性,從而增大晶圓表面的接觸角),增強光刻膠和晶圓的粘附力。

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碳化硅HMDS烘箱,SiC襯底HMDS烤箱 工業烘箱
碳化硅HMDS烘箱,SiC襯底HMDS烤箱 工業烘箱

碳化硅HMDS烘箱,SiC襯底HMDS烤箱將HMDS氣相沉積至半導體制造中氮化鎵(GaN)和、碳化硅(SiC)、硅片、砷化鎵等材料表面后,經系統加溫可反應生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變為疏水,其疏水基可很好地與光刻膠結合,起著偶聯劑的作用

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HMDS烘箱真空泵,IDP10無油泵
HMDS烘箱真空泵,IDP10無油泵

HMDS烘箱真空泵,IDP10無油泵泵具有密封設計,電機和軸承與真空環路全隔離,延長了軸承的使用壽命,并提供潔凈、無油的真空條件。IDP 泵采用單面渦旋設計,可通過簡單的工具在 15 分鐘內完成維護操作。可選的集成式隔離閥防止意外污染,并且不會額外增加泵的高度。

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HMDS 烘箱 工業烘箱
HMDS 烘箱 工業烘箱

HMDS 烘箱是將HMDS蒸汽通過干燥的真空腔內加熱到(120-150°C),在襯底表面上HMDS作為單層膜進行化學結合。

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