97色成人综合网站-亚洲图片一区二区-国产精品久线在线观看-日日躁夜夜躁狠狠久久av-久久精品亚洲日本波多野结衣-亚洲中文字幕精品一区二区三区

技術文章您的位置:網站首頁 >技術文章 > 光刻膠處理中的四大烘烤工藝之——HMDS烤箱預烘烤

光刻膠處理中的四大烘烤工藝之——HMDS烤箱預烘烤

更新時間:2025-05-28   點擊次數:157次
  光刻膠處理中的四大烘烤工藝——基板預烘烤、軟烘、曝光后烘烤與硬烘
 
  涂膠前的烘烤
 
  構建牢靠的膠基結合
 
  基板表面處理是光刻膠附著的首要環節。當溫度升至100°C時,基材表面吸附的水分子(H?O)開始脫附,這一過程能有效消除“水膜屏障”,避免光刻膠與基板間因水分殘留導致的結合力下降。硅、玻璃、石英等氧化表面的羥基(-OH)會導致親水性表面,降低光刻膠附著力,而溫度進一步升至150°C以上時,羥基(-OH)會發生熱裂解反應,從而進一步提升光刻膠與基板的結合力。
 
  ① 低溫段推薦120°C烘烤3-5分鐘,高溫段需避免過久導致基板氧化加劇。
 
  ②使用上海雋思HMDS烤箱HMDS增粘劑預處理可達到類似高溫烘烤的效果。
 
  ③ 涂膠應在基板冷卻后立即進行以防止水分再吸附,但需確保基板恢復室溫以保證膠膜均勻性。
 
  HMDS烤箱預烘烤工藝
 
  HMDS烤箱將HMDS涂到半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃、藍寶石、碳化硅/硫化鋅/磷化銦/生物晶圓等材料表面后,經烘箱加溫氣相沉積在襯底表面。它成功地將硅片表面由親水變為水,其疏水基可很好地與光刻膠結合,起著偶聯劑的作用。
 
  可以很好地改善光刻膠和硅片的黏合性較差,尤其是正膠,顯影時顯影液會侵入光刻膠和硅片的連接處,容易造成漂條、浮膠等,導致光刻圖形轉移的失敗,同時濕法腐蝕容易發生側向腐蝕等煩惱。
 

分享到:

返回列表返回頂部
COPYRIGHT @ 2016 網站地圖    滬ICP備16022591號-1   

上海雋思實驗儀器有限公司主營產品:無氧化烘箱,精密熱風烘箱,晶元烘箱,百級氮氣烤箱,無氧烤箱
地址:上海奉賢臨海工業園區818號

環保在線

推薦收藏該企業網站
主站蜘蛛池模板: 欧美网站免费观看在线| 福利视频不卡| 国产偷国产偷亚洲清高动态图| 草草影院精品一区二区三区| 又色又爽又黄的视频网站| 久久精品无码精品免费专区| 日本三线免费视频观看| 精品丝袜人妻久久久久久| 日韩免费黄色| 中国性少妇内射xxxx狠干| 国精品人妻无码一区二区三区d3| 国内揄拍国内精品人妻| 国产三级精品三级| 92国产精品午夜福利| 无码午夜福利片在线观看| 婷婷色香五月综合缴缴情| 国产精品毛片无码| 国产av国片精品jk制服丝袜| 国产真实伦在线观看| 人妻无码一区二区视频| 四虎www永久在线精品| 亚洲另类在线制服丝袜国产| 亚洲午夜无码毛片av久久| 精品不卡一区二区| 亚洲男人第一无码av网站 | 无码日韩人妻精品久久蜜桃| av免费av| 亚洲www永久成人网站| 99精品国产在热久久无毒不卡| 97人妻精品一区二区三区| 亚洲日本乱码在线观看| 97se亚洲国产综合自在线观看| 国产精品一卡二卡三卡| 老师粉嫩小泬喷水视频90| 欧洲吸奶大片在线看| 真实国产乱啪福利露脸| 亚洲午夜成人精品无码app| 2021年国产精品每日更新| 一个色综合国产色综合| 国产午夜成人免费看片app| 亚洲高清一二三|