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HMDS六甲基二硅胺烷成底膜的方法與優(yōu)點

更新時間:2022-04-09   點擊次數(shù):2700次

HMDS六甲基二硅胺烷成底膜的重要性

  半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中,光刻是集成電路圖形轉(zhuǎn)移重要的一個工藝環(huán)節(jié),涂膠質(zhì)量直接影響到光刻的質(zhì)量,涂膠工藝也顯得尤為重要。光刻涂膠工藝中絕大多數(shù)光刻膠是疏水的,而硅片表面的羥基和殘留的水分子是親水的,這造成光刻膠和硅片的黏合性較差,尤其是正膠,顯影時顯影液會侵入光刻膠和硅片的連接處,容易造成漂條、浮膠等,導(dǎo)致光刻圖形轉(zhuǎn)移的失敗,同時濕法腐蝕容易發(fā)生側(cè)向腐蝕。增黏劑 HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善這種狀況。智能型HMDS真空系統(tǒng)將HMDS 涂到半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃、藍寶石、晶圓等材料表面后,經(jīng)烘箱加溫可反應(yīng)生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷涫杷珊芎玫嘏c光刻膠結(jié)合,起著偶聯(lián)劑的作用。

HMDS六甲基二硅胺烷成底膜的方法:

(1)浸潤分滴和旋轉(zhuǎn)。浸潤分滴和旋轉(zhuǎn)的方法常用于單個硅片的處理。溫度和用量容易控制,但需要排液和排氣裝置。缺點是HMDS消耗量較大及對人體傷害的問題。

(2)噴霧分滴和旋轉(zhuǎn)。噴霧的方法是用一噴霧器在晶圓片表面噴一層細微的 HMDS,這種方法的優(yōu)點是有助于晶圓片表面顆粒的去除,但同樣存在消耗量較大的問題及對人體傷害的問題。

(3)氣相成底膜是常用的方法,通常在120~150℃下完成。氣相成底膜的優(yōu)點是由于沒有與硅片的接觸減少了來自液體 HMDS 顆粒沾污的可能,并且HMDS 的消耗量也最少。氣相成底膜的溫度與烘焙溫度接近,因此在實際操作中也常將二者結(jié)合起來使用


  智能型HMDS真空系統(tǒng)通過對箱體內(nèi)預(yù)處理過程的工作溫度、工作壓力、處理時間、處理時保持時間等參數(shù)的控制可以在硅片、襯底表面完成 HMDS成底膜的工藝。降低了光刻膠的用量,所有工藝都在密閉的環(huán)境中進行,*沒有HMDS揮發(fā),提高了安全性。



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