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  • HMDS疏水烘箱，HMD真空烘箱
    HMDS疏水烘箱，HMD真空烘箱是涂膠前對(duì)硅片表面進(jìn)行處理，可以增加硅片表面水分子的接觸角，使襯底表面從親水性轉(zhuǎn)化為疏水性
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  • JS光伏電池片HMDS處理系統(tǒng)，HMDS預(yù)處理烘箱
    光伏電池片HMDS處理系統(tǒng)，HMDS預(yù)處理烘箱就是涂膠前要進(jìn)行增粘處理。由于襯底表面吸水特性，使疏水的光刻膠無(wú)法與親水的晶圓表面結(jié)合良好。未經(jīng)過(guò)HMDS表面處理的晶圓在后道工藝中容易造成漂條、浮膠等，導(dǎo)致光刻圖形轉(zhuǎn)移的失敗，同時(shí)濕法腐蝕容易發(fā)生側(cè)向腐蝕。
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  • JSHMDS烘箱，太陽(yáng)能電池片HMDS烘箱
    HMDS烘箱，太陽(yáng)能電池片HMDS烘箱適用行業(yè)：MEMS、太陽(yáng)能、電池片、濾波、放大、功率等器件，晶圓、玻璃、貴金屬，SiC(碳化硅)、GaN(氮化鎵)、ZnO（氧化鋅）、GaO（氧化鎵）、金剛石等第三代半導(dǎo)體材料。
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  • HMDS烘箱真空泵，HMDS烘箱無(wú)油泵 工業(yè)烘箱
    HMDS烘箱真空泵，HMDS烘箱無(wú)油泵真空干泵具有(50dBA)和低振動(dòng)運(yùn)行的， 密封設(shè)計(jì)(真空區(qū)與電機(jī)和軸承全隔開(kāi)) 可提供潔凈的泵內(nèi)氣體環(huán)路;從而消除了油或油脂帶來(lái)的污染風(fēng)險(xiǎn)。
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  • JSHMDS專用烘箱，HMDS真空涂膠系統(tǒng) 工業(yè)烘箱
    HMDS專用烘箱，HMDS真空涂膠系統(tǒng)適用行業(yè)：MEMS、濾波、放大、功率等器件，晶圓、玻璃、貴金屬，SiC(碳化硅)、GaN(氮化鎵)、ZnO（氧化鋅）、GaO（氧化鎵）、金剛石等第三代半導(dǎo)體材料。
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