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    堅膜烘箱 百級潔凈烘箱 氮氣無塵烘箱是通過加溫烘烤使膠膜更加牢固的粘附在晶圓表面，并可以增加膠層的抗刻蝕能力的一道光刻膠工藝。
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    后曝光氮氣烘箱，PEB無塵烘箱所使用的高溫（100-130°C）會使光敏化合物擴散，從而消除駐波波紋.百級潔凈度無塵化，專用于半導體，集成電路。
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    智能型無塵無氧烘箱(PI固化厭氧烤箱)箱體內裝有氧含量分析儀，全程檢測氧含量值，并記錄。
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  • 三箱式百級無塵烤箱，電子百級潔凈烘箱
    三箱式百級無塵烤箱，電子百級潔凈烘箱耐高溫超潔凈H.E.P.A，(特殊風道設計)過濾效果可達99.99%,Class100
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    高溫百級無氧烘箱，500度厭氧潔凈烤箱用于PI、BCB 膠高溫固化烘烤、銀膠固化、光刻膠固化、電子陶瓷材料、硅片退火、玻璃退火、無塵烘干的特殊工藝要求。
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