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烤膠機(jī) 智能型烘膠臺(tái) 高精度熱板

烤膠機(jī) 智能型烘膠臺(tái) 高精度熱板

簡(jiǎn)要描述:

烤膠機(jī) 智能型烘膠臺(tái) 高精度熱板升溫速度快,由高性能數(shù)顯溫控表加熱控制,長(zhǎng)壽命、高熱均勻性的發(fā)熱部件供熱,高硬度、耐腐蝕的陽極氧化鋁面板。

烤膠機(jī)  智能型烘膠臺(tái) 高精度熱板 

  光刻工藝及其相干技術(shù)是微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMS)加工工藝的重要構(gòu)成部門。均膠以及烘焙是光刻工藝中不成缺少的一道兒工序,為增長(zhǎng)膠層與硅片表面粘附能力,提高在接觸式暴光中膠層與掩模版接觸時(shí)的耐磨性能及不變膠層的感光靈敏度。高精密程控烤膠機(jī)是一種設(shè)計(jì)為精確控溫、準(zhǔn)確計(jì)時(shí)和接近式加熱的高性能實(shí)驗(yàn)室設(shè)備,可實(shí)現(xiàn)智能化編程烤膠控制。

  烤膠機(jī)升溫速度快,由高性能數(shù)顯溫控表加熱控制,長(zhǎng)壽命、高熱均勻性的發(fā)熱部件供熱,高硬度、耐腐蝕的陽極氧化鋁面板。

適應(yīng)于半導(dǎo)體硅片,載玻片,晶片,基片,ITO導(dǎo)電玻璃等工藝,光刻膠快速固化,制版的表面涂覆后,薄膜烘干,固化。熱板溫度穩(wěn)定度高,重復(fù)性好。可在工礦企業(yè)、科研、教育等單位作生產(chǎn)、科研、教學(xué)之用。

烤膠機(jī)  智能型烘膠臺(tái) 高精度熱板性能 

加熱尺寸:220*220mm,450*550mm/可定制;

溫度范圍:RT~300/400/500°C ;

溫度精度:0.1°C;

溫度均勻性:≤±1℃;

電動(dòng)頂針調(diào)節(jié)高度: 0~30mm;

限位裝置:配有4根限位針;

加熱臺(tái)表面:耐腐蝕硬質(zhì)陽極氧化鋁制成;

真空吸附:樣品接觸加熱臺(tái)后真空吸附,可設(shè)置延時(shí)吸附;

加熱臺(tái)外殼:優(yōu)質(zhì)冷軋板噴塑;

控制器單元:7寸全彩觸摸屏,高級(jí)PLC控制,實(shí)現(xiàn)在指定時(shí)間內(nèi)自動(dòng)升降,

可以定時(shí)取片;

電壓:220V / 50HZ;

功率:2500W;


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