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潔凈無(wú)氧烤箱 充氮潔凈烤箱 高溫固化烤箱

潔凈無(wú)氧烤箱 充氮潔凈烤箱 高溫固化烤箱

簡(jiǎn)要描述:

潔凈無(wú)氧烤箱 充氮潔凈烤箱 高溫固化烤箱應(yīng)用場(chǎng)景
半導(dǎo)體行業(yè)?:晶圓脫泡、LCP纖維烘烤、光刻膠固化(如PI/BCB/PBO涂層)/晶圓退火、電子元器件制造(前烘、堅(jiān)膜、墨點(diǎn)烘烤、備件烘烤等),減少微塵污染90%
?新能源領(lǐng)域?、醫(yī)療與科研?


?潔凈無(wú)氧烤箱 充氮潔凈烤箱 高溫固化烤箱核心參數(shù)與技術(shù)特性?

?溫度范圍?:RT+20~200/400℃,控溫精度±0.5℃,支持快速升溫(>6℃/min)?

?潔凈等級(jí)?:Class 10~100級(jí)(百級(jí)潔凈度過(guò)濾效率達(dá)99.99%),內(nèi)腔采用304、316L不銹鋼材質(zhì),密封防塵設(shè)計(jì)?

?氮?dú)獗Wo(hù)?:充氮純度≥99.999%,氧含量可低至10ppm以下,氮?dú)鈮毫φ{(diào)節(jié)范圍0.01~0.60MPa?

?定制化配置?:支持雙箱獨(dú)立控制、可視化窗口(可選)、不銹鋼網(wǎng)板分層(可活動(dòng)抽取)?

?二、產(chǎn)品結(jié)構(gòu)與功能設(shè)計(jì)?

?箱體構(gòu)造?

外箱:防塵烤漆處理(冷軋鋼板),或304、316L不銹鋼材質(zhì),耐高溫密封條?

保溫層:高密度陶瓷纖維,熱能損耗降低30%?

?加熱與控溫系統(tǒng)?

加熱方式:覆套式無(wú)塵電熱器,均勻加熱,支持觸摸屏程序控溫?

循環(huán)風(fēng)道:水平送風(fēng)+HEPA高效過(guò)濾,快速降溫排氣口自動(dòng)風(fēng)門設(shè)計(jì)?

?智能控制?:支持MES等自動(dòng)化通信端口,

      內(nèi)置計(jì)時(shí)報(bào)警功能,

      氧含量實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)(氧化鋯分析儀)?

潔凈無(wú)氧烤箱 充氮潔凈烤箱 高溫固化烤箱應(yīng)用場(chǎng)景與解決方案?

?半導(dǎo)體行業(yè)?:晶圓脫泡、LCP纖維烘烤、光刻膠固化(如PI/BCB/PBO涂層)/晶圓退火、電子元器件制造(前烘、堅(jiān)膜、墨點(diǎn)烘烤、備件烘烤等),減少微塵污染90%

?新能源領(lǐng)域?:鋰電池材料高溫干燥,氮?dú)夥姥趸Wo(hù)?、新能源材料企業(yè)

?醫(yī)療與科研?:生物醫(yī)藥實(shí)驗(yàn)室,無(wú)菌實(shí)驗(yàn)設(shè)備干燥、無(wú)氧環(huán)境樣品處理(符合ISO9001標(biāo)準(zhǔn))?

?四、服務(wù)與保障?

?售后支持?:提供設(shè)備調(diào)試、技術(shù)培訓(xùn),終身維護(hù)

?質(zhì)量認(rèn)證?:執(zhí)行CE、ISO9001/SEMI S2等標(biāo)準(zhǔn)

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