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智能型無塵無氧烘箱  高溫氮氣無氧PI烤箱

智能型無塵無氧烘箱 高溫氮氣無氧PI烤箱

簡要描述:

智能型無塵無氧烘箱 高溫氮氣無氧PI烤箱 電子膠體固化:銀膠/BCB膠/光刻膠高溫固化(300-450℃)

晶圓加工:退火處理、PI膜烘烤(±1℃波動精度)

陶瓷燒結:電子陶瓷材料無塵烘干(Class100潔凈環境)

智能型無塵無氧烘箱  氮氣無氧烤箱  PI固化爐

一、智能型無塵無氧烘箱  高溫氮氣無氧PI烤箱核心功能定位

1.1 工藝適配場景

?精密熱處理?

  • 電子膠體固化:銀膠/BCB膠/光刻膠高溫固化(300-450℃)

  • 晶圓加工:退火處理、PI膜烘烤(±1℃波動精度)

  • 陶瓷燒結:電子陶瓷材料無塵烘干(Class100潔凈環境)

?行業覆蓋矩陣?

核心行業典型應用產品工藝優勢
半導體制造晶圓、觸摸屏ITO玻璃氧含量≤20ppm防氧化
顯示面板LED封裝、OLED基板溫度均勻度≤±1.5%℃
新能源光伏電池板、PCB板15℃/min急速升溫(定制版)

二、技術參數體系

2.1 核心配置參數

參數類別技術指標可定制選項
?箱體結構?內箱SUS304不銹鋼/外箱冷軋板噴塑全不銹鋼/防爆涂層
?工作室尺寸?標準規格:300×500×700mm非標尺寸定制
?溫控系統?RT+50~450℃ | 分辨率0.1℃ | 波動≤±1℃600℃高溫擴展

2.2 環境控制系統

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? 潔凈度:Class100(ISO 5級)     └ 可選配Class1000(ISO 6級)   ? 氧含量控制:≤10ppm(N?置換系統)     └ 配備在線氧分析儀   ? 熱交換系統:線性降溫4℃/min(80℃以下)  

2.3 智能操作模塊

  • ?控制系統?

    :工業級PLC+HMI觸摸屏

  • ?程序編排?

    :支持30組999段程式設定

  • ?數據追溯?

    :六點溫度記錄儀(符合FDA 21 CFR Part 11)


三、設備型號對照表

設備型號工作室容積適用生產場景
JS-GYM040-AI0.043m3實驗室研發/小批量試制
JS-GYM090-AI0.091m3中型元器件連續生產
JS-GYM125-AI0.125m3光伏電池板熱處理
JS-GYM210-AI0.210m3晶圓廠量產型工作站

四、智能型無塵無氧烘箱  高溫氮氣無氧PI烤箱技術亮點說明


?三位一體精準控制?

  1. ?溫度維度?

    :PID算法+SSR控制,達成±0.1%超調抑制

  2. ?潔凈維度?

    :HEPA+ULPA雙級過濾系統,顆粒物截留率≥99.995%

  3. ?氧控維度?

    :氮氣或真空置換+氣體循環復合系統,殘氧量達軍工標準


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