硅片百級潔凈烤箱，高溫潔凈烘箱概述

硅片百級潔凈烤箱，高溫潔凈烘箱用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅(jiān)膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗(yàn)。

特點(diǎn)

Ø  在普通環(huán)境下使用，能夠確保烘箱內(nèi)部等級達(dá)到Class 100；

Ø  全周氬焊，耐高溫硅膠破緊，SUS304#不銹鋼電熱生產(chǎn)器，防機(jī)臺本身所產(chǎn)生微塵；

Ø  采用單面水平由后向前送風(fēng)熱風(fēng)循環(huán)系統(tǒng)，風(fēng)源由循環(huán)馬達(dá)運(yùn)轉(zhuǎn)帶動風(fēng)輪經(jīng)電熱器，將熱風(fēng)由風(fēng)道送至烤箱內(nèi)部，且將使用后空氣吸入風(fēng)道成為風(fēng)源再度循環(huán)加熱，省電節(jié)能溫度均勻性好，過濾效率99.99%，Class 100；

Ø  強(qiáng)制送風(fēng)循環(huán)方式，雙風(fēng)道循環(huán)結(jié)構(gòu)，溫度場分布均勻，智能P.I.D溫控系統(tǒng)，得到所需控制精度。

 溫度記錄儀

a)   寬視角高分辨TFT彩色液晶屏

b)   六通道、無紙記錄方式

c)   曲線、數(shù)字、棒圖、總覽、報(bào)警、歷史畫面顯示

d)   通過網(wǎng)絡(luò)在PC機(jī)遠(yuǎn)程查看本體畫面

e)   多功能面板按鍵

f)   批處理啟/停記錄，并生成數(shù)據(jù)文件

g)   數(shù)據(jù)安全保證

h)   400MB大內(nèi)存

i)   二進(jìn)制數(shù)據(jù)存儲

j)   網(wǎng)絡(luò)化數(shù)據(jù)冗余

箱體結(jié)構(gòu)

a)   烘箱由箱體部分、電器控制柜、電加熱、過濾器及風(fēng)道系統(tǒng)組裝而成

結(jié)構(gòu)合理，外觀美觀大方；

b)   箱體材料：外箱采用優(yōu)質(zhì)冷軋板噴塑，可防止微塵；

c)   內(nèi)膽材料：采用優(yōu)質(zhì)SUS304鏡面不銹鋼板，并經(jīng)堿 性蘇打水清潔

去油污避免烘烤PARTICLE；