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前烘潔凈烘箱,半導體工藝烤箱

前烘潔凈烘箱,半導體工藝烤箱

簡要描述:

前烘潔凈烘箱,半導體工藝烤箱,用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤,強制送風循環方式。

前烘潔凈烘箱,半導體工藝烤箱

用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤,強制送風循環方式。雙風道循環結構,度場分布均勻,智能P.I.D溫控系統,得到zui高溫度控制精度。無塵工業烤箱適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫藥、實驗室等生產及科研部門。

前烘潔凈烘箱,半導體工藝烤箱特點

1、內箱全部滿焊,耐高溫硅膠破緊,SUS304#不銹鋼電熱生產器,防機臺本身所產生微塵;

2、采用進口SUS304#鏡面不銹鋼,并經堿性蘇打水清潔,去油污避免烘烤時產生 PARTICLE;

3、平面水平由后向前送風后經進口過濾裝置往前門(特殊風道設計)方向送風,過濾效率99.99%,Class 100,排氣口φ50mm

技術參數

1、潔凈烘箱滿足ULSI工藝

2、潔凈烘箱工作尺寸(mm):W600×H600×D500(可尺寸)

3、溫度范圍:60℃~300℃

4、潔凈度:100/1000/10000級(可選擇)

5、溫度均勻性: ±1.5%(空載)

6、波 動 度:±0.5℃

7、電    源:380V 50Hz  7.5KW;

8、箱體材料:外箱采用高級冷軋板板經磷酸皮膜鹽處理后兩層防光面涂裝烤漆,可防止微塵(PARTICLE),保溫材料:超細玻璃棉;  

9、 空氣循環裝置:大容量軸流電機;

10、加熱方式:不銹鋼電加熱器;

11、溫度測量傳感器:Pt100 鉑電阻;

12、控制儀表:進口數顯溫度控制器,PID調節,控制精度0.1℃;

13、超溫保護儀表:獨立于工作室主控制的超溫保護系統,保證試驗品的安全;

14、控制系統:主要電器件均采用正泰、歐姆龍等元器件;

15、排 氣 口:ф50;

16、隔 板:2層,不銹鋼方通,承重約30KG。 

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